חדר נקיבתעשייה, חדר נקי (באנגלית: Clean Room) הוא אזור במפעל שבו נשמרת רמת ניקיון גבוהה ביותר (גבוהה מזו שבחדר ניתוח). רמת הניקיון נמדדת ביחידות של מספר חלקיקים למטר מעוקב. רמת ניקיון גבוהה זו נדרשת בייצורם של מוצרים מסוימים, ובפרט שבבים אלקטרוניים, שאפילו גרגר אבק עלול לשבש את ייצורם. בחדר נקי קיימות מערכות בקרת אקלים מורכבות שמסננות את האוויר, מורידות את רמת הלחות ועוד. העובדים בחדר הנקי לובשים חליפות מיוחדות העשויות מחומרים שאינם פולטים חלקיקים ומצוידות במערכת נשימה, המונעות את זיהומו של החדר בחלקיקים. קירות החדר עשויים מחומרים שאינם פולטים חלקיקים. הניקיון בחדרים מתבצע כחלק מהעבודה השוטפת בחדר ועם חומרי ניקוי מיוחדים. שימושיםבתעשיות השונות קיימים חדרים שונים.
בתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה ישנה הקפדה גבוהה על מספר החלקיקים ועל רמת לחות שתהיה מדויקת סדר גודל של 45%±3% על מנת למנוע היווצרות חשמל סטטי שיכול להרוס את המכשירים והרכיבים המיוצרים. הטמפרטורה בחדר צריכה להיות 20°C±0.2°C. בישראל יש חדרים נקיים במפעלי היי טק אחדים, כגון מפעלי הייצור של החברות אינטל, אפלייד מטיריאלס, אורבוטק, טאוור סמיקונדקטורס, במפעלי התרופות של טבע, במפעלי התעשייה האווירית שעוסקים בתחום החלל מב"ת, אלתא ומל"מ וכן במכון ויצמן למדע, בטכניון באוניברסיטת תל אביב, ובמרכז BINA שבאוניברסיטת בר-אילן. עקרונות זרימת אוויר בחדר נקיתקן לחדרים נקיים ISO 14644-1
תקן זה נקבע על פי מספר החלקיקים בגודל 0.1 מיקרון המותרים בנפח של מטר מעוקב (הגדרת התקן היא על פי המעריך של 10 במספר החלקיקים המותר - לדוגמה: ISO 1==>101)[1]. התקן המחמיר ביותר הוא ISO 1 והמקל ביותר הוא ISO 9. תקן אמריקני פדרלי 209Eתקן פדרלי 209E (FED STD 209E) לסיווג ניקיון חלקיקים באוויר בחדרים נקיים ובאזורים נקיים היה תקן פדרלי שנועד לסיווג ניקיון האוויר, והיה מיועד לשימוש בסביבות כגון חדרים נקיים. התקן התבסס על מדידת מספר החלקיקים בגודל 0.5 מיקרון המותרים בנפח אוויר של רגל מעוקבת. תקן זה בוטל ב-29 בנובמבר 2001.
טבלת השוואת תקנים
ראו גםקישורים חיצוניים
הערות שוליים
|