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二次電子

二次電子（Secondary electrons），又称次级电子，是描述物體表面被一主要輻射照射後，發射出的低能量產物電子。该主要輻射可以是具有足夠能量的離子、電子或是光子。二次電子屬於二次發射（英语：secondary emission）的一種。

原理

低能量電子的平均自由徑

電子在固體裡的非彈性平均自由徑（inelastic mean free path） 通常是具有普遍性，也就是說無關於甚麼材料[1]。這個距離對金屬來說，通常是在幾奈米內；對絕緣體來說，在十幾奈米內，一般来说距离越小测量精度越高[2][3]。而對低能量的電子（< 5eV）來說，則有更長的平均自由徑。

應用

二次電子的原理被應用在電子倍增管、光電倍增管、微通道板、法拉第杯與戴利偵測器等偵測元件，也用在掃描電子顯微鏡。

另见

參考文獻

  1. ^ Zangwill, A., Physics At Surfaces, Cambridge University Press: p21, 1988 
  2. ^ Seiler, H. Secondary electron emission in the scanning electron microscope. Journal of Applied Physics. 1983-11, 54 (11): R1–R18. doi:10.1063/1.332840. 
  3. ^ Cazaux, Jacques. Some considerations on the secondary electron emission, δ, from e− irradiated insulators. Journal of Applied Physics. 1999-01-15, 85 (2): 1137–1147. doi:10.1063/1.369239. 
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